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硅表面钝化技术采用的化学蒸汽沉淀法是一种全新的涂覆技术。在特制的炉中放置所需处理的部件,导入特殊技术的气体。主要特点是这种气体可以渗透到曲折的管道内部并提供很薄的均匀涂覆,即使复杂的形状完成均匀的涂覆。特 点l 化学钝性l 超高耐腐蚀能力l 耐高温 韧性好l 涂覆层厚1微米l 适应各法规分析方法,与特种合金材料相比,大大降低成本应用领域l 石油化工、油气勘探l 半导体、 航天自动化l 分析技术 、气体制造l 环境监测采样l 活性极性强以及强酸、强碱气体 典型应用l 进样系统:高纯度气体、腐蚀性气
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