标准型质量流量控制器

21 系列标准型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传 感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用 户标准工况进行修正。具有 NIST 可溯源校准证书。 可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力，并 显示气体温度，适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁 阀以及优化的 PID 调校，可达到优于 100 ms 的控制速度，并保持稳 定性，并有超低压损产品可供您选择。

行业应用

● 大学 / 研究所

● 环境监测

● 真空行业及镀膜

● 工业炉窑

● 半 导 体 

● 汽车制造 

● 光 伏

● 燃料电池 

● 计量校准 

● 过程工艺气体测量

精度升级

量程为 0.5 SCCM - 6000 SLPM， 其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）

质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）

重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移 ± 0.01% 满量程 / ℃温差  ± 0.01% 满量程 / Atm 压力差

质量流量量程漂移 ± 0.01% 读 数 / ℃温差  ± 0.1 % 读 数 / Atm 压力差

标准型质量流量控制器性能指标

介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类 内置了 98 种气体，请参考背面  一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量 程 从 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

测量和控制范围 0.01~100% 满量程

最大显示流量 128 % 满量程

最大可控流量 102.4 % 满量程

显 示 屏 按键操作，标准为 LCD 黑白

显示屏（带背光），  可选 TFT 彩色显示屏

显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精 度  ±（0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）精度升级部分见左下角

         ±（0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）

累计流量精度 流量精度之外增加 ±0.5% 读数的额外误差

重 复 性 ± 0.2 % 满量程

零点漂移 & 满量程漂移 0.02 % 满量程 / ℃ / Atm

响应时间 优于 100 ms  

预热时间 ＜ 1 s 标定工况 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温选项至 100℃）

温度精度 ± 0.75 ℃  

工作湿度 0 ~ 95 %，无冷凝

最大工作压力 1 MPaG（可选 2 MPaG 高压选项）

低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压 80 KPaA 以上使用；  

其他真空压力建议做特殊标定

压力精度 ± 0.5 % 读数（读数＞ 1Atm）或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）

满量程压损 参考背面详细压损表

数据刷新频率 数字信号 40 Hz@19200 波特率；模拟信号：1000 Hz

屏幕刷新频率 10 Hz

数字输入 / 输出信号 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、  EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232/RS485）

模拟输入 / 输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA