Product Center

产品中心

当前位置:首页  >  产品中心  >  测量仪器  >  质量流量控制器  >  标准型质量流量控制器

标准型质量流量控制器

简要描述:21 系列 标准型质量流量控制器
层流差压原理
非抗腐蚀
量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM,优于 1 % 的精度,控制范围广,优于 100 ms 响应时间

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-10-24
  • 访  问  量:419

详细介绍

品牌其他品牌应用领域环保,化工,能源,电气,综合

21 系列标准型质量流量控制器,采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传 感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用 户标准工况进行修正。具有 NIST 可溯源校准证书。 可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力,并 显示气体温度,适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁 阀以及优化的 PID 调校,可达到优于 100 ms 的控制速度,并保持稳 定性,并有超低压损产品可供您选择。


行业应用

● 大学 / 研究所

● 环境监测

● 真空行业及镀膜

● 工业炉窑

● 半 导 体 

● 汽车制造 

● 光 伏

● 燃料电池 

● 计量校准 

● 过程工艺气体测量


精度升级


量程为 0.5 SCCM - 6000 SLPM, 其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段,下述指标升级:

质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程(取最大值)

质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程(取最大值)

重复性 ±(0.1% 读数 + 0.02% 满量程)

质量流量零点漂移 ± 0.01% 满量程 / ℃温差  ± 0.01% 满量程 / Atm 压力差

质量流量量程漂移 ± 0.01% 读 数 / ℃温差  ± 0.1 % 读 数 / Atm 压力差


标准型质量流量控制器性能指标

介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类 内置了 98 种气体,请参考背面  一台设备内置所有气体,用户可现场选择

量 程 从 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

量和控制范围 0.01~100% 满量程

最大显示流量 128 % 满量程

最大可控流量 102.4 % 满量程

显 示 屏 按键操作,标准为 LCD 黑白

显示屏(带背光),  可选 TFT 彩色显示屏

显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精 度  ±(0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程)精度升级部分见左下角

         ±(0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程)(可选)

累计流量精度 流量精度之外增加 ±0.5% 读数的额外误差

重 复 性 ± 0.2 % 满量程

零点漂移 & 满量程漂移 0.02 % 满量程 / ℃ / Atm

响应时间 优于 100 ms  

预热时间 < 1 s 标定工况 25 ℃ & 1Atm(其它标况可调)

工作温度 -10 ~ 60 ℃(可选高温选项至 100℃)

温度精度 ± 0.75 ℃  

工作湿度 0 ~ 95 %,无冷凝

最大工作压力 1 MPaG(可选 2 MPaG 高压选项)

低操作压力 如果不做真空特殊标定,建议在绝压 80 KPaA 以上使用;  

其他真空压力建议做特殊标定

压力精度 ± 0.5 % 读数(读数> 1Atm)或 ±0.07 PSIA(< 1Atm)

满量程压损 参考背面详细压损表

数据刷新频率 数字信号 40 Hz@19200 波特率;模拟信号:1000 Hz

屏幕刷新频率 10 Hz

数字输入 / 输出信号 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、  EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU(RS232/RS485)

模拟输入 / 输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA


ALICAT 21系列20V1 标准型<strong>质量流量控制器</strong>北京睿信捷环保科技有限公司_01.png





产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
010-64801878
欢迎您的咨询
我们将竭尽全力为您用心服务
18611697209
微信联系
微信公众号
版权所有 © 2024 北京睿信捷环保科技有限公司  备案号:京ICP备19059197号-1