数字式质量流量控制器

数字式质量流量控制器 我们提供基于领域技术开发的各种型号以满足用户需求

各种气体在不同的工业领域中有各种用途：从广受瞩目的新能源领域，太阳能面板和燃料电池的研发和制造，到电子工业中的半导体，液晶面板和LED的研发制造。各种气体在推动社会发展的进程中发挥着作用。

而对气体流量的精确测量与控制也是提高生产率和能源节省所需要的。

HORIBA STEC专注于质量流量控制器的研究开发，服务于近乎艺术级的半导体制程，并持续不断地制造各类新的产品，满足用户的各种需求。

数字式质量流量控制器多种配置选择

通信模式可选择数字/模拟，DeviceNet, CC-Link,和PROFIBUS。

两种气体管路接口到接口之间的尺寸规格供选择：124 mm-和106mm-(W系列)。

气体流量控制范围扩大到从10 SCCM到200 SLM。SEC-N100系列适用于各种需要气体控制方面的应用。

高精度

高精度(设定点为基准)MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高，各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。

整个流量控制范围内都可实现高响应速度

Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response最新的可变PID运算法则:1秒高速响应 SEC-N100 系列搭载了最新开发的“可变PID系统"，对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时，可变PID将根据当下的设定点不断变化，其PID参数也将随之被优化。

多气体、多量程的解决方案

专用的软件赋予用户可以自由更改规格的能力最新的多气体、多量程系统使用户自由变更气体种类和量程成为可能。

流量控制范围为标定满量程的2～100%