质量流量控制器，流量计/控制器和压力控制器广泛应用于气相色谱、分析设备、材料设备、生物医药、半导体等领域。 G300C 系列流量控制器可根据客户需求定制，更加适用于客户使用环境。

21 系列 标准型质量流量控制器 层流差压原理 非抗腐蚀 量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM，优于 1 % 的精度，控制范围广，优于 100 ms 响应时间

数字式质量流量控制器适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，减少客户成本。