质量流量控制器

产品简介：

流量计/控制器和压力控制器广泛应用于气相色谱、分析设备、材料设备、生物医药、半导体等领域。

G300C 系列流量控制器可根据客户需求定制，更加适用于客户使用环境。

数字式设计简介：

G300C 系列质量流量控制器标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G300C 系列采用标准的RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展至 255 台设备同时使用。

G300C 质量流量控制器特点：

 高精度、高分辨率控制

 低功率，功率＜2W

 集成 20 种基础气体种类

 可自定义 10 种混合气体

 控制参数自整定功能

 数字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

 宽流量量程范围

 无需预热

 无安装方向限制

 具有高重复性和高可靠性

 采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快

 自带温度补偿，补偿范围 0-50℃

 内部闭环控制，具有高稳定性

 小封装尺寸

量程及精度简介：

 可用量程：

 最大 0-50slpm

 最小 0-1sccm

 常备量程请参考选型表

 量程比：1000:1     满量程精度：±0.2%

 读取精度：±0.8%    可重复性：±0.2%FS

 响应时间：＜100ms（调节 PID 控制参数可缩 短响应时间）

应用领域：

 气相和液相色谱仪  半导体工艺

 环境监测设备    微反应装置及材料制备实验装置（CVD）

 气体发生器     配气混气系统

功能介绍：

流量控制                          可实现高精度、高重复性、多种气体质量流量控制。

累计流量                          可通过 Modbus-RTU 协议读取累计流量。

独立使用                          无需连接任何设备，可通过按键和显示完成大部分功能操作。

多种量程选择                  最小量程 1sccm，最大量程 50slpm。

内置 20 种基本气体        内置 20 种基本气体，气体种类可定制。

10 种自定义混合气        可根据使用需求，自定义混合气。

多电气接口                     标准配置 1 个 DC 插座，2 个 RJ45 接口，1 个 DB9 接口。

模拟控制                         0-5V 模拟控制信号输入输出。

数字控制                         按键控制或使用 RS-485 通信控制。

标准 Modbus-RTU      RS-485 通信采用标准 Modbus-RTU 通信协议。

参数自整定                    控制参数可通过协议或按键实现自动调整到最佳 PID 控制参数。

设定值记忆功能             开启该功能后，MFC 可记录断电前最后一次设定值，再次通电直接执行该设定值。

阀控功能                        可实现阀全开、阀全关、阀自动闭环控制功能。

多台设备串联                 通过更改通信地址，最大可实现 255 台设备串联控制。

自定义波特率                  可通过 Modbus-RTU 设置自定义波特率。